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主要特點
此款設備由電動滑軌式管式爐、三路供氣系統、真空及過濾系統、前驅體鼓泡裝置，氣體預熱裝置、軟件控制等部分組成。適用于前驅體為非氣態源，如固態或液態前驅體，前驅體灌溫度可達400℃，且溫度獨立可調，固態或液態前驅體在一定溫度下蒸發后通過惰性氣體帶入反應區域參與的一些CVD反應。
設備結構
1.左右兩端進氣抽氣可相互切換；提高基體上涂層的均勻性；
2.爐體底部在電機帶動下可在導軌上水平移動，移動速度根據工藝需要可設置。
3.采用觸摸屏和工控電腦自動控制，參數設置和操作直觀方便，參數自動記錄保持。
4.供氣系統可以按照客戶的實驗需求配置幾路質量流量計，流量計的量程可選，真空系統也可以根據客戶的需求選擇配置各種真空泵。
技術參數：
加熱系統 | |
**溫度 | 1200℃（1 hour) |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ40*800mm（爐管直徑可根據實際需要定制） |
爐膛材料 | 高純氧化鋁纖維 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | 30段可編程控溫，PID參數自整定 |
操作界面為10”工控電腦，內置PLC控制程序 | |
加熱長度 | 150mm |
恒溫長度 | 70mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 220V，50Hz |
額定功率 | 2KW |
三路質子流量控制系統 | |
連接頭類型 | Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
標準量程（N2) | 100sccm，100sccm、200sccm；（可根據用戶要求定制） |
準確度 | ±1.5% |
線性 | ±0.5～1.5% |
重復精度 | ±0.2% |
響應時間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
**壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
真空機組 | |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽氣速率 | 10m3/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進排氣口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管，手動擋板閥與波紋管相連 |
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